ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળી એલ્યુમિના સિરામિક વેફર પોલિશિંગ પ્લેટ શું છે?

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગના ઝડપી વિકાસ સાથે, ઉદ્યોગનું કદ ઝડપથી વધ્યું છે, અને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન સાધનો ચોકસાઇ અને જટિલતામાં વિકસિત થવાનું ચાલુ રાખ્યું છે. સિરામિક્સમાં ઉચ્ચ કઠિનતા, ઉચ્ચ સ્થિતિસ્થાપક મોડ્યુલસ, ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર, ઉચ્ચ ઇન્સ્યુલેશન, કાટ પ્રતિકાર, ઓછું વિસ્તરણ, વગેરેના ફાયદા હોવાથી, તેનો ઉપયોગ સિલિકોન પોલિશિંગ મશીન, એપિટેક્સિયલ/ઓક્સિડેશન/ડિફ્યુઝન હીટ ટ્રીટમેન્ટ સાધનો, લિથોગ્રાફી મશીન, ડિપોઝિશન સાધનો, સેમિકન્ડક્ટર એચિંગ સાધનો, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન મશીન અને અન્ય સાધનોના ભાગો તરીકે થઈ શકે છે, તેથી ચોકસાઇવાળા સિરામિક ભાગોનું સંશોધન અને વિકાસ અને ઉત્પાદન સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગના વિકાસને સીધી અસર કરે છે. તેની તૈયારીની તકનીકી આવશ્યકતાઓ વધુને વધુ વધી રહી છે.

ઉચ્ચ શુદ્ધતા એલ્યુમિના, 99.7%-99.9% એલ્યુમિના.
ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર, ઉચ્ચ વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેશન, ઉચ્ચ રાસાયણિક સ્થિરતા, સારી ગરમી પ્રતિકાર અને કાટ પ્રતિકાર. હાલમાં, સિરામિક ગ્રાઇન્ડીંગ ડિસ્ક ગ્રાઇન્ડીંગ સેમિકન્ડક્ટર સિલિકોન વેફરનો ઉપયોગ સૌથી શ્રેષ્ઠ અને અત્યાધુનિક ગ્રાઇન્ડીંગ પદ્ધતિ છે. કટ સિલિકોન વેફરને ગ્રાઇન્ડ કરવા માટે ડબલ-સાઇડેડ ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રક્રિયાનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, અને ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રક્રિયા (ડિસ્ક સામગ્રી, ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રવાહી, ગ્રાઇન્ડીંગ દબાણ અને ગ્રાઇન્ડીંગ ગતિ, વગેરે) ને સુધારીને ગ્રાઇન્ડીંગ વેફરની ગુણવત્તામાં સુધારો થાય છે. ખાસ કરીને, કાસ્ટ આયર્ન પ્લેટોને બદલે સિરામિક પ્લેટોનો ઉપયોગ, ડાઘ અથવા પ્રદૂષણને કારણે વેફરની મુખ્ય સપાટી પર ગ્રાઇન્ડીંગ ટાળવા માટે, ધાતુના આયનોનો પરિચય ઘટાડી શકાય છે, સિલિકોનની અનુગામી પ્રક્રિયા ઘટાડી શકાય છે, અનુગામી પ્રક્રિયા (કાટ) સમય ટૂંકો કરી શકાય છે, ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરી શકાય છે, અને સિલિકોન પ્રક્રિયાના નુકસાનને ઘટાડી શકાય છે, સિલિકોનના ઉપયોગને મોટા પ્રમાણમાં સુધારી શકાય છે.

ઉચ્ચ એલ્યુમિના વેફર પોલિશિંગ પ્લેટસેમિકન્ડક્ટર, પેટ્રોલિયમ, કેમિકલ, ફોટોવોલ્ટેઇક, લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ અને અન્ય ઉદ્યોગો, જેમ કે યાંત્રિક ભાગો, ઇલેક્ટ્રોનિક ભાગો, માઇક્રોવેવ ઇન્ડક્શન ડિસ્ક, ઇન્સ્યુલેશન સામગ્રી અને અન્ય ભાગો, સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો, વેક્યુમ સાધનો, લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ ઉત્પાદન સાધનો અને અન્ય ભાગોમાં વપરાય છે. મોટા કદ અને ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના સિરામિક્સનું નીલમ ઉદ્યોગ અને સેમિકન્ડક્ટર ચિપ ઉદ્યોગમાં મહત્વપૂર્ણ એપ્લિકેશન મૂલ્ય છે. તે નીલમ અને સેમિકન્ડક્ટર સિલિકોન વેફરના રાસાયણિક યાંત્રિક પોલિશિંગ (CMP) માટે મુખ્ય આધાર અને ઉપભોજ્ય છે. મોટા કદ અને ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળા એલ્યુમિના સિરામિક્સનો ઉપયોગ LCD માટે એલ્યુમિના સબસ્ટ્રેટ તરીકે પણ થઈ શકે છે.